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    兩種常用電子顯微鏡的基本構造及使用方法

    發布日期: 2023-05-01
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      常用電子顯微鏡是一種利用電子束來照射樣品,通過電子與物質作用產生的各種信號檢測樣品結構、成分和性能等信息的高精度儀器。目前常用電子顯微鏡主要有透射電子顯微鏡(TEM)和掃描電子顯微鏡(SEM)兩種。本文將介紹這兩種電子顯微鏡的基本構造和使用方法。
     

     

      一、透射電子顯微鏡(TEM)
     
      1.基本構造
     
      透射電子顯微鏡的主要部分包括:電源、電鏡柱系統、樣品臺、接收器、顯示器等。
     
      2.使用方法
     
      (1)打開電源,使其預熱至10-15分鐘左右;
     
      (2)打開真空系統,實現真空操作;
     
      (3)穩定溫度后,放入待檢測樣品;
     
      (4)調節電鏡柱,改變電子束的位置和角度,獲得所需的圖像;
     
      (5)夾取樣品后在光學系統調節對焦距離以及亮度、對比度等參數進行觀察。
     
      二、掃描電子顯微鏡(SEM)
     
      1.基本構造
     
      掃描電子顯微鏡的主要部分包括:電子槍、透鏡系統、掃描線圈、樣品臺以及檢測器等。
     
      2.使用方法
     
      (1)打開電源,使之預熱,通常需要約20分鐘;
     
      (2)把帶有待檢測樣品的樣品架放置在進樣口位置,并用絲杠將樣品架移動到最佳的位置;
     
      (3)調節取景器和樣品的特定方位和距離;
     
      (4)用較低的放大倍數初步觀察樣品表面整體結構并設置光子檢測器參數;
     
      (5)選擇合適的掃描倍率、掃描速度和像素大小觀察所需區域。
     
      三、總結
     
      常用電子顯微鏡具有高分辨率、高靈敏度和高成像質量等優點,在材料科學、半導體技術、生物學和化學等領域廣泛應用。掌握q基本構造和使用方法,對于正確、有效地進行樣品觀察和數據分析有著重要的意義。
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