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    簡述進口電子顯微鏡的調焦方法

    發布日期: 2022-10-08
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      進口電子顯微鏡具有接觸、輕敲、相移成像、抬起等多種工作模式,是一款集成原子力顯微鏡、摩擦力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、磁力顯微鏡和靜電力顯微鏡于一體的設備,可以測量樣品的表面特性,如形貌、粘彈性、摩擦力、吸附力和磁/電場分布等等。
     
      進口電子顯微鏡可實時獲得樣品表面的實空間三維圖像。既適用于具有周期性結構的表面,又適用于非周期性表面結構的檢測,可在真空、大氣、常溫、常壓等條件下工作,甚至可將樣品浸在液體中,不需要特殊的樣品制備技術,除此之外,其理論橫向分辨率可達0.1nm,而縱向分辨率更高達0.01nm,從而可獲得物質表面的原子晶格圖像,這使其成為了除了場離子顯微鏡和高分辨率透射電子顯微鏡外,第三個能在在原子尺度上觀察物質結構的顯微鏡。
     
      無論是透明的材料或不透明材料、甚至熒光材料都可以分析出較為理想的效果。在較低放大率下,移動采樣階段可以找到待分析的樣本、放大的和聚焦的樣本。較簡單的方法是找出邊界明顯的特征點,使用對比度、亮度、放大率和焦距來制作圖像,然后在樣本的基礎上尋找或選擇感興趣的分析站點。
     
      進口電子顯微鏡的調焦結構分為微動調焦和粗動調焦兩部分:
     
      1、微動調焦結構
     
      微動機構有齒輪式,杠桿式,行星輪式等結構形式,中以齒輪式粗、微動同軸結構使用得普通。
     
      2、粗動調焦結構
     
      粗動調焦機構一般采用齒輪與齒條的嚙合運動形式,選用組織穩定而耐磨性較強的合金材料,并經過精密加工而成。當轉動粗動手掄時,全相試樣表面對光學系統發生相對運動,被調系統作準確的直線運動。移動時效尾與燕尾榴配合平穩,沒合松動或過緊的現象。而齒輪與齒條的齒合精度由調整齒條與齒輪的中心距保證。
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